Puesta en funcionamiento sala blanca CEI UAM+CSIC en Imdea-Nanociencia
La sala blanca del Centro de Micro y Nanofabricación, iniciativa conjunta entre el IMDEA-Nanociencia y el CEI UAM+CSIC, entra en funcionamiento en Septiembre de 2014
Después de 5 años de trabajos, la sala blanca empezará a funcionar a pleno rendimiento en Septiembre de 2014. La sala, con un área total aproximada de 200m2, está dividida en dos secciones: Una zona de 140m2, con calidad de aire ISO6 (Cl1000), dedicada a la preparación de películas delgadas, ataque químico seco, ataque químico húmedo, encapsulado y caracterización de dispositivos. Y otra zona, de 60m2 y calidad de aire ISO5 (Cl100), dedicada a los servicios de litografía.
El equipamiento disponible está entre los más modernos disponibles en la actualidad y consta, entre otros, de: litografía electrónica de alta resolución, litografía por haces de iones focalizados, litografía óptica por escritura láser de haz directo (sin máscara), litografía por nano-impresión, Microscopía SEM y STEM, preparación de películas delgadas mediante deposición de capa atómica (ALD), evaporación térmica de metales, ataque químico por haces de iones (RIE e ICP-RIE), etc.
El Centro de Nanofabricación dará servicio a grupos del CEI-UAM+CSIC en el área de nanociencia y materiales.
Para más información, contactar con Dr Daniel Granados (daniel.granados@imdea.org).